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Recubrimiento Antirreflectante Superior TARC

Número CAS: 25036-25-3

El Recubrimiento Antirreflectante Superior TARC es un fotoquímico de alta pureza utilizado en litografía de semiconductores y fabricación de circuitos impresos. Proporciona una definición precisa del patrón, excelente sensibilidad y compatibilidad con procesos avanzados de fotolitografía.

Especificaciones Técnicas

purity≥99.9%
metal ions<1 ppb
sensitivityUV/haz de electrones
particle size<0.1 μm

Aplicaciones

  • Fabricación de semiconductores
  • Fabricación de circuitos impresos
  • Fabricación de MEMS
  • Pantalla de panel plano
  • Empaquetado avanzado

Características Principales

  • Patrones de alta resolución con Recubrimiento Antirreflectante Superior TARC
  • Pureza ultraelevada
  • Excelente sensibilidad
  • Vida útil estable en almacenamiento

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Recubrimiento Antirreflectante Superior TARC chemical structure

CAS Number

25036-25-3

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