Revelador de Fotorresina TMAH
Número CAS: 75-59-2
El revelador de fotorresina TMAH (hidróxido de tetrametilamonio) es el revelador alcalino acuoso estándar de la industria para fotorresinas de tono positivo en la fabricación de semiconductores y pantallas planas. Revela con precisión las regiones expuestas de la resina sin dejar contaminación por iones metálicos, lo que lo hace compatible con procesos CMOS. Se suministra en concentración estándar de 2,38 % para la mayoría de los sistemas de fotorresina, con concentraciones alternativas para procesos especializados.
Especificaciones Técnicas
| pH | 12,5–13,5 |
| TOC | <1 ppm |
| metalIons | <1 ppb (Na, K, Ca, Fe por ion) |
| particles | <50 partículas/mL >0,2 µm |
| appearance | Solución transparente e incolora |
| TMAHConcentration | 2,38 % en peso (estándar) |
Aplicaciones
- Revelado de fotorresinas KrF y ArF
- Revelado de resinas g-line e i-line
- Revelado de resinas EUV
- Fotolitografía TFT para pantallas planas
- Revelado para patrones en MEMS
Características Principales
- Libre de iones metálicos para compatibilidad con procesos CMOS
- Uniformidad de revelado consistente en toda la oblea
- Concentración estándar de 2,38 % para amplia compatibilidad con resinas
- Pureza ultra alta con contaminación metálica inferior a ppb
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