边缘胶珠去除剂（EBR）晶圆边缘溶剂
边缘胶珠去除剂（EBR）是精确配制的溶剂混合物，用于溶解去除旋涂过程中在晶圆边缘积聚的光刻胶珠。EBR在光刻胶涂布后立即分配到旋转晶圆的正面边缘（前EBR）或背面边缘（后EBR），防止边缘胶珠污染后续光刻步骤中的晶圆传送设备和卡盘。
技术规格
| 外观 | 无色透明液体 |
| 水分含量 | ≤100 ppm |
| 金属杂质 | 各项≤1 ppb |
| 含量（%） | ≥99.9（溶剂混合物含量） |
| 不挥发残留物 | ≤0.5 ppm |
应用领域
- 旋涂后光刻胶边缘胶珠去除
- 晶圆卡盘背面光刻胶清洁
- 晶圆背面清洁防止卡盘污染
- 薄膜边缘排除区域创建
- 旋涂介质（SOD/SOG）边缘清洁
产品特点
- 优化的溶剂配方，实现清洁、清晰的边缘排除，无飞溅
- 与所有常见酚醛树脂、CAR和EUV光刻胶配方兼容
- 快速挥发防止EBR液体渗入光刻胶薄膜下方
- 超低不挥发残留物防止边缘缺陷形成