半导体级异丙醇（IPA超纯级）
CAS 编号: 67-63-0
半导体级异丙醇（IPA）是超纯溶剂，用于晶圆干燥（马兰戈尼干燥）、光刻胶稀释、设备表面清洁及湿法工艺台最终冲洗溶剂。其低水分含量和亚ppb级金属杂质使其适用于前段和后段半导体关键清洗应用。
技术规格
| 外观 | 无色透明液体 |
| 水分含量 | ≤100 ppm |
| 金属杂质 | 各项≤1 ppb |
| 含量（%） | ≥99.9（IPA含量，GC法） |
| 不挥发残留物 | ≤1 ppm |
应用领域
- 湿法清洗后马兰戈尼（IPA蒸气）晶圆干燥
- 光刻胶稀释和涂布优化
- 湿法工艺台设备和夹具清洁
- 有机清洗序列最终冲洗溶剂
- 旋转冲洗干燥（SRD）设备颗粒去除
产品特点
- 超低水分含量，确保马兰戈尼干燥效果
- 亚ppb级金属纯度，防止晶圆表面污染
- 低不挥发残留物，挥发后无污迹
- 与所有常见半导体晶圆材料兼容