正性光刻胶显影液CD-26（TMAH 2.38%）
CAS 编号: 75-59-2
CD-26光刻胶显影液是精确配制的2.38%四甲基氢氧化铵（TMAH）水溶液，是正性酚醛树脂和化学放大光刻胶的工业标准显影液。无金属离子化学品消除碱金属污染，精确的TMAH浓度提供可预测、可重复的显影对比度和CD控制。
技术规格
| 外观 | 无色透明液体 |
| pH（25°C） | 13.0–13.5 |
| 含量（%） | ≥99.9（TMAH含量2.38 wt%） |
| 颗粒（≥0.2 µm） | ≤10个/mL |
| 金属杂质（Na、K、Fe） | 各项≤0.1 ppb |
应用领域
- 正性酚醛树脂光刻胶显影（g/i线）
- 化学放大光刻胶（CAR）显影（DUV/EUV）
- MEMS及相关图形化显影
- 平板显示TFT图形化显影
- 晶圆级封装（WLP）光刻
产品特点
- 工业标准2.38% TMAH浓度，CD控制可预测
- 无金属离子配方防止CMOS器件阈值电压漂移
- 超低颗粒数，最大限度减少线边缘粗糙度和缺陷
- 兼容液滴、喷雾和浸泡显影设备