乙二醇单丁醚（EGBE）显影溶剂
CAS 编号: 111-76-2
半导体级乙二醇单丁醚（EGBE，也称丁基溶纤剂）用作光刻胶显影液配方的助溶剂及设备和夹具清洗剂。其适中的挥发速率以及与水性碱性显影液的兼容性，有助于优化显影液在晶圆表面的铺展和均匀性。
技术规格
| 外观 | 无色透明液体 |
| 水分含量 | ≤300 ppm |
| 金属杂质 | 各项≤1 ppb |
| 含量（%） | ≥99.5（GC法） |
| 酸度（以乙酸计） | ≤10 ppm |
应用领域
- 水性碱性光刻胶显影液助溶剂
- 改善显影液均匀性的润湿剂
- 光刻胶旋涂机清洗溶剂
- 表面活性剂配方助溶剂
- 丝网印刷和光刻清洗
产品特点
- 适中挥发速率，改善显影工艺窗口
- 与水和常见光刻胶溶剂完全互溶
- 低金属杂质防止光刻胶附着力下降
- 对疏水晶圆表面具有有效润湿性能