食人鱼溶液硫酸-双氧水混合液（SPM）
食人鱼溶液（SPM：硫酸/双氧水混合液，通常H2SO4:H2O2 = 3:1至7:1体积比）是一种强氧化清洗液，用于去除硅晶圆表面的重度有机污染、光刻胶残留和金属颗粒。放热混合反应生成过一硫酸（卡罗酸），能强力氧化有机物。可用于批量和单片晶圆SPM清洗设备。
技术规格
| 外观 | 无色发烟液体（混合后） |
| 含量（%） | ≥99.5（H2SO4组分，混合前） |
| 使用时温度 | 120–150°C（放热反应） |
| H2SO4:H2O2混合比例 | 3:1至7:1（体积比，可定制） |
| 金属杂质（混合前） | 各项≤1 ppb |
应用领域
- 离子注入后重度光刻胶和聚合物剥离
- 热氧化前有机污染物去除
- 金属颗粒和离子污染清洗
- 扩散炉前晶圆剥离清洗
- CMP后有机残留物去除
产品特点
- 极强有机物去除能力，包括交联和离子注入后光刻胶
- 以H2SO4和H2O2单独组分供应，现场混合更安全
- 与单片晶圆热SPM分配设备兼容
- 超纯组分级别，最大限度减少剥离过程中的金属再污染