硅酸盐旋涂玻璃（SOG硅酸盐平坦化）
硅酸盐旋涂玻璃（SOG）是基于醇溶剂中硅正硅酸酯前驱体的无机可旋涂介质材料。旋涂后在400–450°C固化，形成致密SiO2薄膜，用于BEOL工艺中金属线间隙填充平坦化。硅酸盐SOG对高深宽比空间具有优异的间隙填充能力，但在较厚应用中需要刻蚀减薄以避免开裂。
技术规格
| 外观 | 透明无色溶液 |
| 含量（%） | ≥99.5（固化后SiO2当量） |
| 粘度（cP） | 5–50（可调节目标厚度） |
| 固化膜折射率 | 1.44–1.46 |
| 介电常数（固化后） | 3.9–4.1 |
应用领域
- BEOL金属间介质（IMD）间隙填充
- 高深宽比金属形貌平坦化
- 刻蚀减薄SOG ILD平坦化工艺
- 金属层间钝化层
- MEMS工艺牺牲间隙填充
产品特点
- 对0.25 µm以下金属线间距无空洞优异间隙填充
- 低固化温度（400°C），与铝金属化工艺兼容
- 粘度可调，支持单次或多次涂布平坦化策略
- 与氧化物CMP兼容，实现混合SOG-CMP平坦化方案