Dimetilsulfóxido Grado Semiconductor (DMSO)
Número CAS: 67-68-5
El dimetilsulfóxido (DMSO) grado semiconductor es un disolvente aprótico polar utilizado en formulaciones de desprendimiento de fotorresinas, especialmente como codisolvente con aminas para mejorar la eliminación de residuos poliméricos post-grabado y post-cenizado. Su alta polaridad y baja toxicidad en comparación con la NMP lo convierten en un disolvente cada vez más preferido en químicas de limpieza BEOL para nodos avanzados.
Especificaciones Técnicas
| appearance | Líquido transparente incoloro |
| purity (%) | ≥99.9 (ensayo GC) |
| water content | ≤200 ppm |
| metallic impurities | ≤1 ppb cada uno |
| non-volatile residue | ≤1 ppm |
Aplicaciones
- Eliminación de residuos post-grabado y post-cenizado (BEOL)
- Codisolvente en desprendedores de fotorresina a base de aminas
- Disolución de residuos poliméricos en limpieza de vías (vias)
- Formulaciones de limpieza de interconexiones en nodos avanzados
- Disolvente para procesos lift-off en patronado de metales
Características Principales
- Perfil de toxicidad inferior al de la NMP, en cumplimiento con las regulaciones emergentes
- Alta constante dieléctrica que mejora la disolución de residuos iónicos
- Miscible con agua y la mayoría de disolventes orgánicos para formulación flexible
- Pureza metálica sub-ppb apta para procesos avanzados de lógica y memoria
Send Inquiry
Más en Químicos para Grabado de Semiconductores
Acetona Grado Semiconductor (Remoción de Fotorresina)
67-64-1
Precursor ALD de Cloruro de Aluminio (AlCl3)
7446-70-0
Amoníaco Grado Semiconductor (NH3 para CVD de Nitruros)
7664-41-7
Fluoruro de Amonio Grado Semiconductor (NH4F 40%)
12125-01-8
Hidróxido de Amonio Grado Semiconductor (NH4OH SC-1)
1336-21-6
Gas Argón para Sputtering (Ar Ultra Puro)
7440-37-1
Recubrimiento Antirreflectante Inferior (BARC)
Grabador de Óxido Tamponado (BOE) NH4F/HF
7664-39-3