Disolvente Removedor de Cordón de Borde (EBR) para Borde de Oblea
El removedor de cordón de borde (EBR) es una mezcla de disolventes formulada con precisión, utilizada para disolver y eliminar el cordón de fotorresina que se acumula en el borde de la oblea durante el recubrimiento por centrifugación. El EBR se dispensa en el borde frontal (EBR frontal) o en el borde posterior (EBR posterior) de la oblea en rotación inmediatamente después del recubrimiento con resina, evitando la contaminación por cordón de borde de los equipos de manipulación de obleas y mandriles durante las etapas posteriores de litografía.
Especificaciones Técnicas
| appearance | Líquido transparente incoloro |
| purity (%) | ≥99.9 (ensayo de mezcla de disolventes) |
| water content | ≤100 ppm |
| metallic impurities | ≤1 ppb cada uno |
| non-volatile residue | ≤0.5 ppm |
Aplicaciones
- Eliminación del cordón de borde de fotorresina tras el recubrimiento por centrifugación
- Limpieza de resina del lado posterior en mandriles de obleas
- Limpieza del reverso de la oblea para prevenir la contaminación del mandril
- Creación de zonas de exclusión de borde en películas finas
- Limpieza de bordes en dieléctricos spin-on (SOD/SOG)
Características Principales
- Mezcla de disolventes optimizada para una exclusión de borde limpia y nítida sin salpicaduras
- Compatible con todas las formulaciones comunes de fotorresinas novolacas, CAR y EUV
- Evaporación rápida que evita la migración del líquido EBR debajo de la película de resina
- Residuo no volátil ultra-bajo que previene la formación de defectos de borde
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