Acetato de Propilenglicol Monometil Éter (PGMEA)
Número CAS: 108-65-6
El PGMEA (acetato de propilenglicol monometil éter) es el solvente dominante para fotorresistentes utilizado en procesos avanzados de litografía para formulaciones de resina fotosensible a 193 nm y EUV. Su velocidad de evaporación óptima, excelente poder de disolución de resinas y baja toxicidad lo convierten en el solvente de colado estándar de la industria para resinas positivas y negativas. El grado ultra-puro para semiconductores minimiza los defectos y garantiza una uniformidad de película consistente.
Especificaciones Técnicas
| appearance | Líquido claro e incoloro |
| purity (%) | ≥99.9 (ensayo por GC) |
| water content | ≤100 ppm |
| metallic impurities | ≤0.1 ppb cada uno (grado SEMI C7) |
| non-volatile residue | ≤0.5 ppm |
Aplicaciones
- Solvente de colado para fotorresistentes ArF a 193 nm y EUV
- Formulación de resinas amplificadas químicamente (CAR)
- Solvente para recubrimientos antirreflectantes (ARC/BARC)
- Solvente de formulación para dieléctricos aplicados por centrifugado y SOG
- Dilución de fotorresistentes para control de espesor de película delgada
Características Principales
- Grado ultra-alta pureza SEMI C7 para litografía EUV de nodo avanzado
- Velocidad de evaporación optimizada para la formación uniforme de películas por centrifugado
- Menor residuo no volátil que garantiza recubrimientos fotorresistentes libres de defectos
- Disponible en envases con barrera de humedad para mantener el contenido de agua por debajo de 100 ppm
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