Fotorresist Positivo Novolac (línea g / línea i)
Los fotorresists positivos a base de novolac son el material de litografía clásico para exposición UV de línea g (436 nm) y línea i (365 nm) en la definición de patrones semiconductores. Compuestos por resina novolac y compuesto fotoactivo de diazanaftoquinona (DNQ) en disolvente PGMEA/PGME, ofrecen excelente resolución hasta 0.35 µm, alta resistencia al ataque y compatibilidad con reveladores estándar de TMAH. Ampliamente utilizados en procesos MEMS, de pantallas y CMOS heredados.
Especificaciones Técnicas
| appearance | Líquido viscoso ámbar a ámbar oscuro |
| purity (%) | ≥99.5 (contenido de sólidos por formulación) |
| resolution | ≤0.35 µm (línea i) |
| viscosity (cP) | 10–10000 (múltiples grados disponibles) |
| sensitivity (mJ/cm2) | 80–150 (línea i, dosis hasta despeje) |
Aplicaciones
- Definición de patrones en capas de dispositivos MEMS (resist grueso >10 µm)
- Fotolitografía TFT de pantallas (escáner de línea g / línea i)
- Nodos de proceso CMOS heredados (0.35–1 µm)
- Definición de patrones de metales por lift-off con perfil de corte inferior
- Fotolitografía de circuitos impresos y empaquetado a nivel de oblea
Características Principales
- Amplia latitud de proceso con amplias ventanas de dosis de exposición y profundidad de foco
- Excelente adhesión en SiO2, Si3N4 y metales con imprimación HMDS
- Alta resistencia al ataque por plasma para litografía de ataque seco exigente
- Disponible en formulaciones de recubrimiento delgado (1–5 µm) y grueso (10–100 µm)
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