Fluoruro de Amonio Grado Semiconductor (NH4F 40%)
Número CAS: 12125-01-8
El fluoruro de amonio grado semiconductor (solución acuosa al 40%) es un componente clave en las formulaciones de grabado tamponado de óxido (BOE) y en la química de grabado de nitruro de silicio. Su calidad ultra pura asegura una contaminación metálica mínima en las superficies de las obleas. También se utiliza como tampón de pH y fuente de fluoruro en diversos baños de procesos húmedos.
Especificaciones Técnicas
| appearance | Líquido transparente incoloro |
| pH (25°C) | 6.5–7.5 |
| purity (%) | ≥40.0 (ensayo de NH4F) |
| chloride (Cl-) | ≤0.5 ppm |
| metallic impurities | ≤1 ppb cada uno (grado SEMI) |
Aplicaciones
- Formulación de grabado tamponado de óxido BOE
- Grabado selectivo de nitruro de silicio
- Ajuste de pH en baños de grabado húmedo
- Fuente de fluoruro para pasivación superficial
- Química de limpieza de fotomáscaras
Características Principales
- Ultra puro grado SEMI con control de impurezas metálicas por debajo de ppb
- Excelente capacidad tamponadora para mantenimiento estable del baño BOE
- Bajo recuento de partículas para procesamiento de obleas sin defectos
- Suministrado en envases HDPE de alta pureza para evitar la lixiviación de iones
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