Reactivo de Limpieza RCA SC-1 (NH4OH/H2O2/H2O)
El RCA SC-1 (Limpieza Estándar 1, APM: Mezcla de Amoniaco y Peróxido) es un sistema de limpieza listo para usar o suministrado por componentes que emplea NH4OH:H2O2:H2O (1:1:5 a 1:2:10 v/v) a 65–80°C para eliminar partículas y contaminación orgánica ligera de superficies de obleas de silicio. El componente de ataque suave al óxido desprende las partículas mientras el H2O2 oxida la materia orgánica, logrando niveles de partículas inferiores a 0.1 recuentos/cm² tras la limpieza.
Especificaciones Técnicas
| appearance | Líquido claro e incoloro (cada componente) |
| purity (%) | ≥99.9 (cada componente) |
| use temperature | 65–80°C |
| metallic impurities | ≤1 ppb cada uno (por componente) |
| NH4OH:H2O2:H2O ratio | 1:1:5 (estándar, ajustable) |
Aplicaciones
- Eliminación de partículas y orgánicos pre-óxido de compuerta
- Paso de limpieza estándar pre-horno de difusión
- Limpieza de oblea FEOL en secuencia RCA
- Limpieza de eliminación de partículas post-CMP
- Preparación de superficie pre-deposición de metal
Características Principales
- Proceso RCA probado con décadas de datos de calificación industrial
- Eliminación eficaz de partículas mediante mecanismo de repulsión por potencial zeta
- Componentes disponibles individualmente o en kits premezclados
- Compatible con herramientas de limpieza por lotes y de oblea individual de 200 mm y 300 mm
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