Acetona Grado Semiconductor (Remoción de Fotorresina)
Número CAS: 67-64-1
La acetona de grado semiconductor es un solvente cetónico ultrapuro utilizado para disolver y remover fotorresinas, limpiar residuos orgánicos de superficies de obleas y desprender patrones lift-off en procesos de MEMS y semiconductores compuestos. Su rápida tasa de evaporación y su fuerte poder solvente la hacen efectiva para la remoción rápida de fotorresinas antes de las secuencias de grabado húmedo.
Especificaciones Técnicas
| appearance | Líquido transparente incoloro |
| purity (%) | ≥99.9 (ensayo GC) |
| water content | ≤200 ppm |
| metallic impurities | ≤1 ppb cada uno |
| non-volatile residue | ≤1 ppm |
Aplicaciones
- Disolución y remoción de fotorresina en proceso de lift-off
- Eliminación de contaminación orgánica de superficies de obleas
- Limpieza de fijaciones y portadores de deposición metálica
- Prelavado antes del enjuague con IPA en secuencia de limpieza con solventes
- Limpieza de procesos de semiconductores compuestos (GaAs, InP)
Características Principales
- Grado semiconductor ultrapuro con impurezas metálicas sub-ppb
- La rápida evaporación previene residuos líquidos en las superficies de las obleas
- Excelente solubilidad para fotorresinas a base de novolaca y poliimida
- Envasada en contenedores con manto de nitrógeno para mantener la pureza
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