N-Metil-2-Pirrolidona Grado Semiconductor (NMP)
Número CAS: 872-50-4
La N-Metil-2-Pirrolidona (NMP) de grado semiconductor es un solvente aprótico polar de alto punto de ebullición ampliamente utilizado como removedor de fotorresistentes y eliminador de residuos en procesos de extremo posterior de línea (BEOL). Su excelente capacidad de disolución para resinas entrecruzadas y su baja presión de vapor lo hacen ideal para equipos de limpieza por centrifugación de oblea individual y baños de remoción por inmersión. El grado de ultrapureza garantiza la ausencia de contaminación metálica en las capas de interconexión.
Especificaciones Técnicas
| appearance | Líquido transparente incoloro |
| purity (%) | ≥99.9 (ensayo por GC) |
| water content | ≤500 ppm |
| metallic impurities | ≤1 ppb cada uno |
| non-volatile residue | ≤2 ppm |
Aplicaciones
- Remoción de fotorresistente post-grabado en procesos BEOL
- Eliminación de residuos de polímeros y resinas entrecruzadas
- Solvente para revestimiento y patrones de poliimida
- Solvente de extracción y limpieza para líquidos iónicos
- Solvente para proceso ELO (desprendimiento de borde)
Características Principales
- Excelente capacidad de disolución para fotorresistentes entrecruzados e implantados iónicamente
- Alto punto de ebullición (202°C) que permite procesos de remoción a temperatura elevada
- Baja presión de vapor que reduce la pérdida de solvente y mejora la seguridad del operador
- Compatible con aminas y co-solventes para formulaciones de remoción mejoradas
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