Revelador de Fotorresistencia Positiva CD-26 (TMAH 2.38%)
Número CAS: 75-59-2
El revelador de fotorresistencia CD-26 es una solución acuosa de hidróxido de tetrametilamonio (TMAH) al 2.38% con formulación de precisión, que constituye el revelador estándar de la industria para fotorresistencias de tono positivo tipo novolac y amplificadas químicamente. La química libre de iones metálicos elimina la contaminación por metales alcalinos, y la concentración precisa de TMAH proporciona un contraste de revelado predecible, reproducible y un control de CD consistente.
Especificaciones Técnicas
| appearance | Líquido claro incoloro |
| pH (25°C) | 13.0–13.5 |
| purity (%) | ≥99.9 (ensayo TMAH al 2.38 wt%) |
| particles (≥0.2 µm) | ≤10 por mL |
| metallic impurities (Na, K, Fe) | ≤0.1 ppb cada uno |
Aplicaciones
- Revelado de fotorresistencia de tono positivo tipo novolac (líneas g/i)
- Revelado de resinas amplificadas químicamente (CAR) (DUV/EUV)
- Revelado para litografía de MEMS y aplicaciones adyacentes
- Revelado de litografía para paneles de pantalla plana TFT
- Fotolitografía de empaquetado a nivel de oblea (WLP)
Características Principales
- Concentración estándar de la industria de 2.38% TMAH para un control de CD predecible
- Formulación libre de iones metálicos que previene el desplazamiento de la tensión umbral en dispositivos CMOS
- Recuento ultrabajo de partículas que minimiza la rugosidad de bordes de línea y los defectos
- Compatible con herramientas de revelado por charco, aspersión e inmersión
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