Dietilamino Trimetilsilano (TMSDEA) Agente de Sililación
Número CAS: 996-50-9
El dietilamino trimetilsilano (TMSDEA) es un reactivo de sililación utilizado en litografía de semiconductores para modificar la química superficial de fotorresistencias y mejorar la adhesión. Como agente de tratamiento superficial para procesos de fotorresistencia sililada (p. ej., proceso DESIRE), convierte los grupos OH de las superficies de fotorresistencia en grupos OSi(CH3)3, mejorando la selectividad de grabado. También se emplea en la funcionalización de superficies ALD y en la reparación de superficies dieléctricas de baja constante k.
Especificaciones Técnicas
| appearance | Líquido claro incoloro |
| purity (%) | ≥99.5 (GC assay) |
| boiling point | 126°C |
| water content | ≤50 ppm |
| metallic impurities | ≤1 ppb cada uno |
Aplicaciones
- Modificación superficial de fotorresistencias sililadas (proceso DESIRE)
- Funcionalización de grupos hidroxilo superficiales en ALD
- Reparación de superficies dieléctricas de baja constante k tras daño por plasma
- Promoción de la adhesión de fotorresistencias sobre superficies de óxido
- Pasivación de superficies para deposición en áreas selectivas
Características Principales
- Alta reactividad con grupos OH superficiales para una sililación rápida a temperatura ambiente
- Formulación libre de iones metálicos, adecuada para procesos de dieléctrico de puerta CMOS
- El subproducto (dietilamina) es volátil y se elimina fácilmente mediante purga
- Sensible a la humedad; suministrado bajo gas inerte en recipientes metálicos sellados
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