Éter Monobutílico de Etilenglicol (EGBE) Solvente para Revelador
Número CAS: 111-76-2
El éter monobutílico de etilenglicol grado semiconductor (EGBE, también conocido como butil cellosolve) se utiliza como cosolvente en formulaciones de revelador de fotorresistente y como agente de limpieza para equipos y accesorios. Su velocidad de evaporación moderada y compatibilidad con reveladores alcalinos acuosos lo hacen útil para optimizar la propagación y uniformidad del revelador en superficies de obleas.
Especificaciones Técnicas
| appearance | Líquido transparente incoloro |
| purity (%) | ≥99.5 (ensayo GC) |
| water content | ≤300 ppm |
| metallic impurities | ≤1 ppb cada uno |
| acidity (as acetic acid) | ≤10 ppm |
Aplicaciones
- Cosolvente en reveladores alcalinos acuosos de fotorresistentes
- Agente humectante para mejorar la uniformidad del revelador
- Solvente de limpieza para spin coaters de fotorresistentes
- Cosolvente en formulaciones de tensoactivos
- Limpieza en serigrafía y litografía
Características Principales
- Velocidad de evaporación moderada para mayor latitud del proceso de revelado
- Totalmente miscible con agua y solventes comunes de fotorresistentes
- Bajas impurezas metálicas que evitan la degradación de la adherencia del fotorresistente
- Desempeño eficaz de humectación sobre superficies de oblea hidrofóbicas
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