Ácido Clorhídrico Grado Semiconductor (HCl 37%)
Número CAS: 7647-01-0
El ácido clorhídrico grado semiconductor (37%) es un químico crítico en la limpieza RCA SC-2 para la eliminación de iones metálicos y el ataque químico de óxidos. Forma complejos con metales pesados y los elimina de las superficies de obleas, y se utiliza en mezclas HCl/H2O2/H2O (SC-2) para eliminar metales alcalinos y la contaminación por metales pesados antes de las etapas en hornos de oxidación.
Especificaciones Técnicas
| appearance | Líquido transparente incoloro a amarillo tenue |
| purity (%) | ≥37.0 (ensayo de HCl) |
| sulfate (SO4) | ≤0.1 ppm |
| free chlorine (Cl2) | ≤0.1 ppm |
| metallic impurities | ≤1 ppb cada uno (grado SEMI C4) |
Aplicaciones
- Limpieza SC-2 (RCA-2) para eliminación de contaminación metálica
- Descontaminación de metales pesados e iones alcalinos
- Limpieza de obleas previa al horno de oxidación
- Ataque químico de metales oro y platino
- Formulación de agua regia (HCl/HNO3)
Características Principales
- Grado ultra puro SEMI C4 para el proceso de limpieza RCA-2 SC-2
- Excelente capacidad de complejación de metales para la eliminación de iones de superficies de Si
- Bajo contenido de sulfato y hierro que previene problemas de fiabilidad del óxido de puerta
- Suministrado en envases de HDPE o cuarzo para máxima preservación de la pureza
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