Vidrio de Recubrimiento Centrifugado Silicato (Planarización SOG Silicato)
El vidrio de recubrimiento centrifugado (SOG) de silicato es un material dieléctrico inorgánico aplicable por centrifugación basado en precursores de ortosilicato de silicio en un solvente alcohólico. Tras el recubrimiento por centrifugación y el curado a 400–450°C, forma una película densa de SiO2 para la planarización por relleno de huecos entre líneas metálicas en procesos BEOL. El SOG de silicato proporciona excelente capacidad de relleno de huecos para espacios de alta relación de aspecto, pero requiere retrograbado para evitar el agrietamiento en aplicaciones de gran espesor.
Especificaciones Técnicas
| appearance | Solución límpida incolora |
| purity (%) | ≥99.5 (equivalente SiO2 tras curado) |
| viscosity (cP) | 5–50 (ajustable para el espesor objetivo) |
| cured film refractive index | 1.44–1.46 |
| dielectric constant (cured) | 3.9–4.1 |
Aplicaciones
- Relleno de huecos dieléctrico intermetálico (IMD) BEOL
- Planarización de topografía metálica de alta relación de aspecto
- Proceso de planarización ILD con retrograbado SOG
- Capa de pasivación entre niveles metálicos
- Relleno de huecos sacrificial para procesos MEMS
Características Principales
- Excelente relleno de huecos para espacios de líneas metálicas inferiores a 0,25 µm sin vacíos
- Baja temperatura de curado (400°C) compatible con procesos de metalización de Al
- Viscosidad ajustable para estrategias de planarización de una o varias capas
- Compatible con CMP de óxido para esquemas de planarización híbrida SOG-CMP
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